甲硅烷作為硅碳負極中納米硅的原料應(yīng)用在鋰電池行業(yè)中，在未來，固態(tài)電池的負極材料中也有納米硅的應(yīng)用。

納米硅的制取方法主要有機械球磨法、化學(xué)氣相沉積法、等離子蒸發(fā)冷凝法三種，其中化學(xué)氣相沉積法是一種以硅烷氣為原材料制取納米硅粉的技術(shù)。目前機械球磨法是國內(nèi)主流的納米硅制造方法，但機械球磨法易混入雜質(zhì)，且只做到微米級別，無法做到更精準的高純化的納米級別。化學(xué)氣相沉積法是是一種以甲硅烷為反應(yīng)原料進行納米硅粉生產(chǎn)的技術(shù)。根據(jù)誘發(fā)甲硅烷熱解的能量源不同，可分為等離子增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積法(LICVD)和流化床法(FBR)，其中PECVD和LICVD是目前生產(chǎn)納米硅粉主要的工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，也是以甲硅烷為原料進行納米硅粉生產(chǎn)的技術(shù)。美國杜邦公司在20世紀70年代已采用PECVD方法實現(xiàn)了納米硅粉批量化生產(chǎn)。目前，化學(xué)氣相沉積法和等離子蒸發(fā)冷凝法是目前主要研發(fā)的兩種方法。

硅基負極無疑是下一代鋰電負極材料，硅氧負極材料、硅碳負極材料、硅基合金負極材料各有優(yōu)缺點，未來硅基負極材料市場化和商業(yè)化進程未可知。

目前，硅基負極的市場集中度高，量產(chǎn)企業(yè)不超過3家， 在研發(fā)及小試企業(yè)超過 20 家。硅基負極目前主要有三類企業(yè)，一是現(xiàn)有石墨類負極企業(yè)，如貝特瑞、寧波杉杉等；二是科研院校的創(chuàng)始團隊，如天目先導(dǎo)等；三是電池企業(yè)或跨界進入該領(lǐng)域的 納米硅制造企業(yè)，如國軒高科等。

預(yù)計2025年中國硅碳負極需求量有望達到20萬噸，硅碳負極需求增長的主要驅(qū)動力在于硅碳負極在消費/動力電池中滲透率的提升。若20萬噸硅碳負極材料化學(xué)氣相沉積法占比達50%，摻硅量達到10%，則對應(yīng)了11400噸甲硅烷需求。未來硅碳負極行業(yè)有望成為甲硅烷下游新增長點。

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