10月21日，合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司將該項(xiàng)目環(huán)評(píng)的有關(guān)情況進(jìn)行首次公示。

1、提純：四氯化硅300噸/年、三氯化硼200噸/年、二氯二氫硅200噸/年、超純氮300噸/年、超純氬300噸/年、超純氦10噸/年、三氟化氮500噸/年、二氧化碳100噸/年、氧氣200噸/年、氫氣20噸/年；

2、混配：磷烷+氫氣混合氣3000瓶/年、乙硼烷+氫氣混合氣3000瓶/年、氟氣+氮?dú)饣旌蠚猓?900瓶/年，100臺(tái)管束車/年）、準(zhǔn)分子激光氣28000瓶/年；

3、分裝：二氧化碳10000噸/年、液氮/氮?dú)?000噸/年、液氬/氬氣3000噸/年、液氦/氦氣50噸/年；

4、設(shè)備配套：超潔凈鋼瓶年處理20000只/年；

5、儲(chǔ)存經(jīng)營(yíng)：甲烷50噸/年、硅烷10噸/年、一氧化二氮80噸/年、氟甲烷45噸/年、二氟甲烷45噸/年、三氟甲烷100噸/年、六氟丁二烯50噸/年、六氟化硫100噸/年、四氟化碳100噸/年。

資訊來(lái)源：合肥市環(huán)境保護(hù)局新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)分局